各種めっき被膜、薄膜組成の分析

概要

シリコンウエハー、石英、ポリカーボネイト基盤上に形成されたPVD薄膜の金属成分を酸またはアルカリで溶解し、それぞれの元素について定量する。

分析

  1. 膜形成元素及び比率、膜厚、測定面積、要求精度の目標を参考に、溶解酸及び方法、希釈率、検量線の作成方法、測定方法を決定。
    【測定方法】
    ・ICP発光分光分析法
    ・ICP質量分析法
    ・原子吸光分析法
  2. 単位面積当たりの各成分の絶対量(μg/cm2)を定量し、組成比(wt%又はatomic%)や膜厚(Å)に換算

一般的手法

  • 2000Å膜厚の薄膜

    2000Å膜厚の薄膜(総付着量2~3mg/16cm2

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