酸素・窒素分析計

概要

原理

試料を黒鉛るつぼに入れ、He雰囲気中で加熱融解する。試料中の酸素は黒鉛るつぼと反応し、一酸化炭素(CO)を発生する。一酸化炭素は二酸化炭素(CO2)にまで酸化し、赤外線検出器で濃度を分析する。

一方窒素は、加熱溶融して生じた二酸化炭素や水分を吸収分離し、残った窒素を熱伝導度検出器で濃度を測定します(下図)。

酸素・窒素分析計
  • 酸素・窒素分析計の概念図

    酸素・窒素分析計の概念図

適用範囲

  • 金属材料
  • 半導体材料

特徴

  • 分析範囲

    O:1ppm~5.0%

    N:1ppm~5.0%

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