水素分析計

概要

原理

試料を黒鉛るつぼに入れ、Ar雰囲気中で加熱融解します。

そうすると一酸化炭素、水、窒素、水素が発生します。一酸化炭素は二酸化炭素に酸化し、吸収分離します。水も吸収剤で分離し、窒素は分離カラムで分離します。残った水素は熱伝導度検出器で濃度を測定します。(下図)

水素分析計
  • 水素分析計の概念図

    水素分析計の概念図

適用範囲

  • 金属材料
  • 半導体材料

特徴

  • 分析範囲

    1ppm~0.02%

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