物理分析

各種材料の表面のミクロな形態観察や元素分析、材料の表面から深さ方向の元素分布を把握することができ、また、物質の結晶構造や化学結合状態も知ることができます。分析対象は、金属、高分子、セラミック材料、半導体デバイスなどさまざまな材料の分析が可能です。

表面・微小部分析、深さ方向分析

  • 表面数原子層~μmオーダー深さの元素、状態分析
  • nm~μmオーダーの局所元素分析、状態分析
  • nm~μmオーダーの固体表面元素の深さ方向分析
  • 装置別適用範囲表

    装置別適用範囲表

分析装置

分析事例

  • X線光電子分光分析装置

    X線光電子分光分析装置

  • 電界放射型オージェ電子分光分析装置

    電界放射型オージェ電子分光分析装置

  • 二次イオン質量分析計

    二次イオン質量分析計

  • 飛行時間型二次イオン質量分析計

    飛行時間型二次イオン質量分析計

  • 分析透過電子顕微鏡

    分析透過電子顕微鏡

  • 電子線マイクロアナライザー

    電子線マイクロアナライザー

形態観察

原子オーダー~μmオーダーの形態観察

分析事例

  • 超高分解能電界放射走査型電子顕微鏡

    超高分解能電界放射走査

    電子顕微鏡

  • 電界放射走査型電子顕微鏡

    電界放射走査電子顕微鏡

  • 集束イオンビーム加工観察装置

    集束イオンビーム

    加工観察装置

結晶構造解析

  • サブμm~mmオーダーの結晶構造解析

分析装置

  • X線回析装置

    X線回析装置

  • 後方散乱電子線回析解析装置

    後方散乱電子線回析解析装置

分析事例

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