二次イオン質量分析計(SIMS)

概要

原理

酸素やセシウムなどのイオン(一次イオン)を数keVに加速し試料の表面に照射すると、試料表面からスパッター現象で電子、中性粒子、イオンなどの粒子が放出されます。

これらの粒子の中からイオンのみを取りだし、質量分析計で分析することにより、試料表面の組成を定性・定量的に知ることが出来ます。(下図)

また一次イオンを走査することで表面成分の分布状況も知ることが出来ます。

二次イオン質量分析計

適用分野

金属、半導体、絶縁物などの各種材料の微量元素分析と深さ方向分析

特徴

二次イオン質量分析計
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