超高分解能電界放射走査電子顕微鏡（UHR-FE-SEM）

原理

基本的には通常のＳＥＭと同じですが、下図に示すように、対物レンズ内に試料を入れることにより、対物レンズに強い磁場をかけられるので球面収差を低く抑えることが出来ることにより、超高分解能観察が可能になります。

更にIn-Lens検出器と呼ばれる鏡体内に設置された二次電子検出器を用いることにより、試料から発生した二次電子のうち、比較的低いエネルギーを持つ二次電子を選択的に検出します。

低いエネルギーの二次電子は試料表面の凹凸に敏感であるため、超高分解能で試料表面の形状観察が可能です。

適用分野

金属、半導体、無機、有機、高分子など全ての材料の表面構造解析

特徴