原子間力顕微鏡(AFM)

概要

原理

シリコン等で作られた非常に微細な探針で試料表面を走査し、試料表面の凹凸を三次元的に計測する装置です。

方法は下図に示すように試料表面を走査する探針はカンチレバーに付けられており、カンチレバーは振動子で振動させています(タッピングモード)。

探針が試料に近づくと振動振幅が変わりますが、この変化をレーザで検出し、振幅が一定になるように、試料台のZ軸駆動圧電素子で調整します。試料台のX、Y軸を走査しながらZ軸の駆動圧電素子にかかる電圧を測定することで、試料表面の凹凸がナノオーダで観察することが可能となります。

事故原因の解明フロー

適用分野

金属、半導体、絶縁体、有機物などあらゆる材料の表面形状や表面粗さの観察。

表面欠陥の観察。

特徴

  • 最大スキャンエリア

    12μm

  • 最大スキャン高さ

    2.5μm

  • 最高分解能

  • 金属・半導体・絶縁体・有機材料などあらゆる固体材料の測定が可能
  • 大気中で測定でき、特別な試料調整が不要
  • ガラス板に蒸着した銀の膜の表面形状観察結果を右図に示す。

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