金属材料・非金属材料の成分元素・不純物の深さ方向分析

測定事例

NSSTにて実施した、グロー放電発光分析装置(GD-OES)を用いた材料の深さ方向分析の測定事例をご紹介します。

熱処理鋼板(SUS301鋼)の表面元素分布調査

鋼板表面(酸化層)中の元素分布や界面部分の元素の濃化状態の評価が可能です。

  • 熱処理鋼板

熱処理前後での表面状態調査

熱処理前後(左図:処理前、右図:処理後)での表面状態(酸化層中の元素分布状態)評価が可能です。

  • 熱処理前
  • 熱処理後

窒化物鋼板の深さ方向分析

鋼板等の窒素の浸入深さ評価に適しており、100μm程度の深さまでの濃度分析が迅速に可能です。

  • 窒化物鋼板の深さ方向分析

めっき鋼板の膜中及び界面部の元素調査

膜中及び界面部分の含有元素の深さ方向分布の評価が可能です。

  • めっき鋼板の膜中及び界面部の元素調査

Siウエハに蒸着した多層膜(Al /Cr /Ti 膜)の深さ方向分析

組成の異なる材質について膜厚評価が可能です。

  • Siウエハに蒸着した多層膜(Al /Cr /Ti 膜)の深さ方向分析
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