フレームレス原子吸光分析装置(FLAAS)

概要

原理

フレームレス原子吸光分析装置は目的とする元素を含む溶液をグラファイト製のキュベットに入れ、電気的に高温に加熱することにより、目的の元素を原子化します(下図)。

通常の原子吸光分析装置はアセチレン-酸素等の火炎で原子化するのに対し、本装置は火炎を使わずに原子化するのでフレームレスと呼ばれます。

原子化された元素は通常の原子吸光分析装置と同様、目的元素固有の輝線を照射し、その輝線への吸収量を測定することで目的の元素の分析を行います。

フレームレス原子吸光分析装置
  • フレームレス原子吸光分析装置図

適用分野

  • 超純水の分析
  • 高純度試薬の分析
  • 天然・合成石英中の不純物分析
  • 各種高純度シリコン中の不純物分析
  • シリコンウェーハの表面分析
  • 各種溶出試験液の分析

特徴

  • 従来のフレームによる原子吸光法に比べ、2~3桁低い濃度の分析が可能
  • 極微量溶液試料(10μl程度)での分析が可能
  • 多元素同時分析不可
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